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ATV真空回流爐系統(tǒng)簡(jiǎn)介
日期：2025-11-24 03:11
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摘要：
ATV真空回流爐系統(tǒng)簡(jiǎn)介
冷卻系統(tǒng)
冷卻系統(tǒng)
分為(ATV真空回流爐)內(nèi)循環(huán)和外循環(huán) 內(nèi)循環(huán)：設(shè)備內(nèi)部有個(gè)水箱，內(nèi)裝有DI water，通過(guò)水泵將水箱里面水進(jìn)行循環(huán)，用來(lái)冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環(huán)：客戶提供外部冷卻水用來(lái)冷卻水箱。
加熱系統(tǒng)
包括主加熱和邊緣加熱。
主加熱也就是整個(gè)加熱板。占加熱的95%。
邊緣加熱是在熱板的四周追加邊緣加熱絲，為了更好的提高熱板的均勻性，增大工藝有效面積。
真空系統(tǒng)
真空泵(ATV真空回流爐)抽真空流程：將腔體內(nèi)部氣體——主閥——真空泵——管道（通過(guò)加熱絲）——排風(fēng)里面。 真空部分有個(gè)過(guò)壓閥，腔體壓力過(guò)大時(shí)會(huì)自動(dòng)打開(kāi)泄壓。
測(cè)量系統(tǒng)
除了控制加熱的TC之外，設(shè)備腔體內(nèi)部還有6組測(cè)量TC，用于實(shí)時(shí)監(jiān)控產(chǎn)品溫度。
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